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臺(tái)式掃描電鏡中的掃描速度和掃描模式如何選擇?

日期:2023-09-26

在臺(tái)式掃描電鏡中選擇掃描速度和掃描模式取決于您的具體實(shí)驗(yàn)和觀(guān)察需求。以下是一些一般性的指導(dǎo)原則:

1. 掃描速度:

高速掃描: 選擇高速掃描模式適用于快速獲得樣品的大致形貌和結(jié)構(gòu)信息。這對(duì)于初步的樣品調(diào)查和快速的數(shù)據(jù)收集非常有用。然而,高速掃描通常會(huì)犧牲分辨率,因此不適用于需要高分辨率的應(yīng)用。

中速掃描: 中速掃描模式在速度和分辨率之間提供了一種平衡。它適用于一般的成像和表面分析,可以獲得較好的圖像質(zhì)量和分辨率。

低速掃描: 低速掃描模式適用于需要高分辨率的應(yīng)用,如納米尺度的成像和微區(qū)分析。盡管速度較慢,但它提供了更高的圖像清晰度和分辨率。

2. 掃描模式:

線(xiàn)掃描模式: 線(xiàn)掃描模式將電子束沿樣品的一條線(xiàn)進(jìn)行掃描。這種模式適用于獲得樣品的一維剖面圖像或線(xiàn)狀結(jié)構(gòu)的觀(guān)察。

柵格掃描模式: 柵格掃描模式將電子束按照網(wǎng)格狀的方式掃描整個(gè)樣品表面。這種模式適用于獲取二維圖像,通常用于常規(guī)成像和表面分析。

點(diǎn)掃描模式: 點(diǎn)掃描模式將電子束聚焦在一個(gè)點(diǎn)上,并逐點(diǎn)掃描整個(gè)樣品。這種模式適用于高分辨率成像和局部區(qū)域的深入分析。

在選擇掃描速度和模式時(shí),要考慮到以下因素:

樣品性質(zhì)和要觀(guān)察的特征。

實(shí)驗(yàn)?zāi)繕?biāo),包括成像、表面分析、能譜分析等。

掃描電子顯微鏡的性能和能力。

時(shí)間和數(shù)據(jù)采集的限制。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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作者:澤攸科技


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