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掃描電鏡圖像對(duì)比度調(diào)不好怎么辦

日期:2026-02-25

掃描電鏡圖像對(duì)比度調(diào)不好,通常不是“旋鈕沒(méi)擰對(duì)”,而是信號(hào)來(lái)源、束流條件和樣品狀態(tài)沒(méi)配合好。可以從下面這些方面排查和調(diào)整:

先選對(duì)探測(cè)器:二次電子更看形貌對(duì)比,背散射電子更看成分對(duì)比;探測(cè)器選錯(cuò),對(duì)比度怎么拉都別扭。

調(diào)整加速電壓:電壓過(guò)高會(huì)讓信息來(lái)自更深層,表面對(duì)比被沖淡;適當(dāng)降低電壓,表面起伏和邊緣對(duì)比會(huì)更明顯。

束流與光闌匹配:束流太小信號(hào)弱、噪聲大;太大又容易發(fā)灰,換小一點(diǎn)光闌、配合合適束流通常更干凈。

工作距離(WD)影響很大:WD 偏大時(shí)對(duì)比度會(huì)下降,適當(dāng)縮短 WD,信號(hào)收集效率和立體感都會(huì)變好。

樣品充電問(wèn)題:不導(dǎo)電樣品會(huì)導(dǎo)致亮暗漂移、整體發(fā)灰,先做噴金/噴碳,或降低電壓、束流再拍。

掃描參數(shù):掃描速度過(guò)快會(huì)噪聲大、對(duì)比差,適當(dāng)放慢掃描、做幀平均,細(xì)節(jié)會(huì)明顯出來(lái)。

亮度對(duì)比度順序:先把亮度調(diào)到不過(guò)曝,再慢慢拉對(duì)比度,否則很容易一片白或一片黑。


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作者:澤攸科技


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