掃描電鏡（SEM）中的電子探針和能量色散分析（EDS）是用于獲取材料樣品化學成分和表面拓撲信息的重要技術。以下是它們的工作原理和應用：

電子探針（Electron Probe）： 電子探針是掃描電鏡中的一種技術，通過聚焦電子束在樣品表面產生的相互作用來獲取有關樣品的信息。這些相互作用包括以下幾個方面：

二次電子發射（Secondary Electron Emission）： 當高能電子束擊中樣品表面時，會產生二次電子發射。這些二次電子可以用于生成高分辨率的表面拓撲圖像。

散射電子（Backscattered Electrons）： 部分電子束被樣品的原子核散射回來，形成散射電子圖像。散射電子圖像提供了樣品的組成信息，通常與樣品中的原子數量成正比。

X射線發射（X-ray Emission）： 電子束與樣品相互作用時，激發了內部原子的電子，導致它們跳躍到更高能級，然后回到基態時發射X射線。這些X射線具有特定的能量，可以用于識別樣品中的元素。

能量色散分析（EDS）： 能量色散分析是一種用于確定樣品化學成分的技術，它通常與掃描電鏡一起使用。它的工作原理如下：

X射線檢測： 當電子束與樣品相互作用并激發內部原子時，樣品會發射X射線。這些X射線具有不同的能量，與被激發的元素有關。

X射線能量分析： EDS系統使用能量分散儀來測量X射線的能量。不同元素的X射線具有不同的能量特征，因此可以根據X射線的能譜確定樣品中的元素。

定量分析： 通過比較測得的X射線能譜與已知元素的標準庫，可以定量分析樣品中的元素含量。這可以用來確定元素的百分比和相對濃度。

ZEM18臺式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子探針和能量色散分析。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢