在掃描電鏡中，圖像是通過電子束與樣品交互并產生的。以下是SEM圖像生成的基本過程：

電子源產生電子束： SEM中通常使用熱陰極或場發射電子源產生高能電子束。這些電子束具有高能量，通常在幾千至數十千電子伏特（keV）之間。

電子束聚焦： 電子束經過一系列電磁透鏡，如透鏡和聚焦透鏡，以將電子束聚焦成一個細小的束斑。這個聚焦過程類似于光學顯微鏡中的物鏡。

電子束照射樣品： 聚焦后的電子束被照射到待觀察的樣品表面上。樣品通常需要導電性，因為電子束的照射會導致樣品電荷積累。

電子-樣品相互作用： 電子束與樣品表面上的原子和電子相互作用。這包括電子的散射、散射電子的產生、透射電子、激發和發射等。主要的相互作用包括：

散射： 部分電子會被散射回到探測器，產生圖像的信號。

透射： 一些電子會穿透樣品，這種電子不會產生圖像信號。

二次電子發射： 部分電子會在與樣品表面相互作用后被發射出來，這些電子用于生成表面形貌圖像。

后向散射電子： 一些電子會朝著電子束的方向后向散射，這些電子通常用于成分分析。

信號檢測和處理： 從電子-樣品相互作用中產生的信號，如散射電子或二次電子，被探測器捕獲。捕獲的信號被轉換為電子信號，并經過放大和處理。

圖像形成： 處理后的信號用于形成圖像。對不同的信號進行處理和顯示，可以獲得不同類型的SEM圖像，如表面形貌圖像、成分分析圖像等。

ZEM18臺式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子與樣品交互如何產生圖像。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢