掃描電鏡圖像出現(xiàn)中間清晰、邊緣模糊，是比較常見的現(xiàn)象，通常與電子光學(xué)條件和樣品狀態(tài)有關(guān)，而不是單一故障。

常見原因是工作距離或?qū)刮恢貌缓线m。SEM 對焦本質(zhì)上是在某一個平面達(dá)到適合清晰度，如果樣品表面不完全平整，中間高度合適而邊緣高度有差異，就會出現(xiàn)中心清楚、邊緣失焦的情況。

像散校正不充分也會導(dǎo)致這種現(xiàn)象。像散在視場中心往往不明顯，但在邊緣會被放大，表現(xiàn)為邊緣方向性模糊，而中心仍然較清晰。

再就是電子束會聚條件的問題。束斑在視場中心為宜，掃描到邊緣時，如果會聚角偏大或束斑尺寸偏大，分辨率會下降，邊緣細(xì)節(jié)自然變差。這在高倍率、大視場時尤其明顯。

樣品臺傾斜或安裝不平也是常見原因。樣品整體有傾角時，對焦平面只能覆蓋一部分區(qū)域，通常是中間或某一側(cè)清晰，其余區(qū)域逐漸模糊。

另外，掃描線性和像場畸變也會造成邊緣清晰度下降，雖然不是真正失焦，但視覺效果很像模糊，尤其在低端或老設(shè)備上更明顯。

改善方法上，可以在目標(biāo)放大倍數(shù)下重新精確對焦，并認(rèn)真做像散校正。檢查樣品是否放平，必要時調(diào)整樣品臺或重新裝樣。適當(dāng)減小工作距離、降低放大倍數(shù)，或縮小掃描視場，也能明顯改善邊緣清晰度。

如果能說明是在什么放大倍數(shù)、工作距離大概多少、樣品是否傾斜，我可以更準(zhǔn)確地判斷是哪一種原因占主導(dǎo)。