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掃描電鏡圖像對比度不足的原因分析

日期:2025-10-11

掃描電鏡圖像對比度不足通常由以下幾方面原因造成:

加速電壓過高或過低:加速電壓過高時電子穿透樣品過深,信號差異減小;過低時信號噪聲比上升,導(dǎo)致圖像灰度層次不明顯。

樣品導(dǎo)電性差:電荷積聚會使二次電子發(fā)射不均勻,降低明暗反差。

探測器信號設(shè)置不當(dāng):二次電子與背散射電子探測器的增益或偏置設(shè)置不合理,會影響亮度和對比度。

束流電流或掃描速度不合適:束流過大易產(chǎn)生飽和,過小則信號太弱,掃描過快信號平均不足。

樣品表面形貌或成分差異較小:當(dāng)樣品區(qū)域間的電子散射特性相似時,自然對比度較低。

此外,不同品牌和型號的掃描電鏡在電子光學(xué)系統(tǒng)、探測器靈敏度及圖像處理算法上各有差異,因此在同樣樣品和條件下,獲得的對比度可能不同。熟悉所使用設(shè)備的特性,合理調(diào)整參數(shù),是提升圖像對比度的關(guān)鍵。


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作者:澤攸科技


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