掃描電鏡（SEM）圖像出現(xiàn)抖動（flickering / jittering），是一種常見但令人困擾的問題，圖像可能表現(xiàn)為輕微跳動、震蕩或邊緣模糊，影響成像質(zhì)量和精度。抖動通常不是隨機的，而是由特定因素引起的。下面是常見原因及對應(yīng)解決方法：

圖像抖動的常見原因及解決方案

1. 環(huán)境干擾

表現(xiàn)：圖像周期性或不規(guī)則抖動，尤以放大倍率高時明顯。

原因：

地面震動（如靠近地鐵、電梯、重型設(shè)備）；

空調(diào)、電機、電焊等引起的電磁干擾；

室內(nèi)氣流波動（門窗頻繁開合、風機對著設(shè)備）。

解決方法：

將SEM安置在防震平臺或低震區(qū)；

保持室內(nèi)恒溫恒濕，避免強氣流；

避免與強電設(shè)備共用電源或布線，確保良好接地。

2. 掃描電子束不穩(wěn)定

表現(xiàn)：圖像邊緣發(fā)虛或跳動，無法精確聚焦。

原因：

電壓電流不穩(wěn)定；

場發(fā)射源或燈絲老化；

高壓電源模塊故障或調(diào)節(jié)失常。

解決方法：

預(yù)熱設(shè)備，待電子槍穩(wěn)定；

降低加速電壓嘗試成像；

如問題持續(xù)，聯(lián)系工程師檢查電子槍或電源系統(tǒng)。

3. 樣品充電效應(yīng)

表現(xiàn)：圖像局部抖動明顯，邊緣拖尾或閃動。

原因：非導(dǎo)體樣品表面積聚靜電，干擾電子束掃描。

解決方法：

使用金屬（如金、鉑、碳）導(dǎo)電鍍膜；

降低加速電壓；

使用低真空或環(huán)境模式（若設(shè)備支持）；

確保樣品與樣品臺導(dǎo)電良好。

4. 樣品臺機械不穩(wěn)

表現(xiàn)：圖像微抖，有時伴隨位置漂移。

原因：樣品臺或托盤結(jié)構(gòu)松動、驅(qū)動機構(gòu)磨損。

解決方法：

檢查樣品是否固定牢靠；

檢查樣品臺是否到位、有無間隙或卡滯；

若長期出現(xiàn)，建議由專業(yè)技術(shù)人員檢修樣品臺。

5. 軟件參數(shù)設(shè)置不當

表現(xiàn)：快速掃描時抖動嚴重，慢掃描較穩(wěn)定。

原因：

掃描速度設(shè)置過快；

同步或積分設(shè)置不足，抗干擾能力差。

解決方法：

采用慢速掃描模式；

開啟“幀平均”或“積分掃描”功能；

調(diào)整掃描參數(shù)提升圖像穩(wěn)定性。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡造成圖像抖動原因。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價格請咨詢