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掃描電鏡中電子束的加速電壓如何影響成像

日期:2024-03-11

掃描電子顯微鏡(SEM)中電子束的加速電壓對(duì)成像有著重要影響,其主要影響體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面:

分辨率:電子束的加速電壓直接影響著掃描電子顯微鏡的分辨率。一般來說,較高的加速電壓可以產(chǎn)生更高的電子束能量,從而減小電子波長,提高分辨率。但是,隨著電子束能量的增加,電子束的穿透能力也增強(qiáng),會(huì)導(dǎo)致成像深度加大,從而影響表面形貌和細(xì)節(jié)的分辨。

成像深度:較高的加速電壓可以增加電子束的穿透能力,使電子能夠穿透樣品表面較深的位置,從而提高樣品的成像深度。但是,成像深度的增加可能會(huì)導(dǎo)致樣品表面以下的結(jié)構(gòu)也被成像,造成圖像模糊和細(xì)節(jié)丟失。

表面充電:較高的加速電壓會(huì)增加電子束對(duì)樣品表面的能量沉積,可能導(dǎo)致樣品表面的充電現(xiàn)象加劇,影響圖像的對(duì)比度和清晰度。因此,在選擇加速電壓時(shí)需要平衡分辨率、成像深度和表面充電之間的關(guān)系。

樣品損傷:較高的加速電壓會(huì)增加電子束對(duì)樣品的能量沉積,可能會(huì)造成樣品的損傷,尤其是對(duì)于柔軟或易揮發(fā)的樣品。因此,在選擇加速電壓時(shí)需要考慮樣品的性質(zhì)和穩(wěn)定性,以避免樣品損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中電子束的加速電壓如何影響成像。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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