掃描電子顯微鏡是否能夠成像非導電樣品？
日期：2023-12-06
掃描電鏡（SEM）通常可以成像非導電樣品。相較于傳統的透射電子顯微鏡，SEM對于樣品的導電性要求較低。
在SEM中，樣品通常需要涂覆一層薄的導電性金屬膜（例如金屬薄膜），以提高樣品表面的導電性。這是因為SEM工作時需要通過樣品表面的電子散射來形成圖像，而導電性有助于避免電荷積累和電荷漂移，確保圖像的清晰度。
然而，對于一些本身具有一定導電性的樣品或者無法進行金屬薄膜涂覆的樣品，也可以通過調整SEM的工作條件來進行成像。例如，可以使用低電子束能量和適當的探測器配置，以減小對非導電樣品的表面電荷影響，從而實現對非導電樣品的成像。
一些掃描電鏡設備還配備了特殊的探測器和樣品臺，以增強對非導電樣品的成像能力。這些技術的發展使得SEM在成像各種類型的樣品時更加靈活和可行。
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作者：澤攸科技