掃描電子顯微鏡可以用于化學(xué)分析，尤其是表面分析。然而，SEM本身并不直接提供化學(xué)信息。相反，它提供高分辨率的表面形貌圖像。

為了進(jìn)行化學(xué)分析，通常需要將能量散射譜或者電子能譜儀與SEM結(jié)合使用。這兩種技術(shù)都允許對(duì)樣品進(jìn)行元素分析。

能量散射譜： 能量散射譜是一種通過(guò)探測(cè)樣品表面上的X射線(xiàn)來(lái)分析其元素組成的技術(shù)。當(dāng)高能電子轟擊樣品表面時(shí)，產(chǎn)生的X射線(xiàn)具有特定的能量，與元素的特征能級(jí)相對(duì)應(yīng)。EDS探測(cè)器可以測(cè)量這些X射線(xiàn)，并通過(guò)分析它們的能譜來(lái)確定樣品中的元素。

電子能譜儀：電子能譜儀利用電子束與樣品相互作用時(shí)的電子能量損失來(lái)提供化學(xué)信息。通過(guò)測(cè)量透射電子束的能量損失，可以獲得關(guān)于樣品中元素的化學(xué)信息。

ZEM18臺(tái)式掃描電鏡

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