在掃描電鏡中，電子束與樣品之間的距離是一個(gè)重要的參數(shù)，通常稱為工作距離或工作距離。這個(gè)距離對(duì)SEM成像的質(zhì)量和性能有顯著的影響，以下是一些影響：

成像分辨率： 工作距離會(huì)影響SEM的成像分辨率。通常情況下，較小的工作距離可以提供更高的分辨率，因?yàn)殡娮邮劢埂Ｈ绻ぷ骶嚯x過(guò)大，分辨率可能會(huì)下降。

深度和對(duì)焦范圍： 工作距離也會(huì)影響對(duì)焦范圍，即樣品上下表面的焦平面深度。較大的工作距離通常意味著更深的對(duì)焦范圍，使您能夠觀察不同深度的樣品部分。

信號(hào)強(qiáng)度： 較小的工作距離可以提供更高的二次電子和反射電子信號(hào)強(qiáng)度。這對(duì)于獲得清晰的圖像和更好的樣品導(dǎo)電性很重要。

樣品表面和幾何： 樣品的表面形狀和幾何特性也會(huì)影響工作距離的選擇。復(fù)雜的樣品可能需要不同的工作距離以獲得更全的信息。

放大倍數(shù)： 工作距離通常會(huì)隨著放大倍數(shù)的增加而變化。較高放大倍數(shù)通常需要較小的工作距離。

在SEM操作中，操作員通常需要選擇適當(dāng)?shù)墓ぷ骶嚯x以滿足特定應(yīng)用的需求。這通常需要一些實(shí)驗(yàn)和調(diào)整，以獲得高質(zhì)量的成像結(jié)果。如果工作距離選擇不當(dāng)，可能會(huì)導(dǎo)致分辨率下降、對(duì)焦困難或信號(hào)強(qiáng)度不足。因此，操作員需要在使用SEM時(shí)具備一定的經(jīng)驗(yàn)和技能。

ZEM20臺(tái)式掃描電鏡

以上就是澤攸科技小編分享的掃描電鏡中的電子束與樣品之間的距離影響。更多掃描電鏡產(chǎn)品及價(jià)格請(qǐng)咨詢