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臺式掃描電鏡如何進行樣品對比度增強?

日期:2023-09-11

要在臺式掃描電鏡(SEM)中增強樣品的對比度,可以采取以下一些常見的方法和技巧:

調整電子束參數: SEM中的電子束參數可以調整,包括電子束的加速電壓(加速電子的能量)和電流。增加加速電壓通常會提高對比度,但需要小心以避免對樣品造成損傷。適當選擇電子束電壓和電流以獲得高對比度。

選擇檢測模式: SEM通常有不同的檢測模式,如二次電子檢測(SE)和反向散射電子檢測(BSE)。二次電子檢測通常提供較高的表面拓撲對比度,而反向散射電子檢測可以提供樣品的化學元素對比度。選擇適當的檢測模式以滿足您的觀察需求。

調整工作距離: 工作距離是樣品表面到電子槍的距離。調整工作距離可以影響到電子束的聚焦,從而影響對比度。適當調整工作距離以獲得高對比度。

樣品準備: 樣品的表面狀態和準備對對比度至關重要。確保樣品表面光滑、干凈,并適當地涂覆或鍍覆以增強導電性。一些樣品可能需要金屬鍍膜以提高對比度。

選擇合適的探針電流: 控制探針電流可以影響到圖像的對比度。較高的探針電流通常會提供更好的對比度,但需要小心以避免樣品損傷。

圖像后處理: 在獲取圖像后,可以使用圖像處理軟件來進一步增強對比度。這包括調整亮度、對比度、伽馬校正等參數,以及應用濾波器和增強算法。

使用適當的傾斜角度: 在某些情況下,通過改變SEM樣品臺的傾斜角度,可以提供更好的對比度,特別是在觀察表面特征時。

利用多種檢測模式: 在某些情況下,使用多個檢測模式并合成圖像(例如,SE圖像和BSE圖像),可以提供更豐富的信息和對比度。

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以上就是澤攸科技小編分享的臺式掃描電鏡如何進行樣品對比度增強。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢 


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作者:澤攸科技


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