掃描電子顯微鏡有多種變種和模式，每種都適用于不同的應(yīng)用和研究領(lǐng)域。以下是一些常見的SEM變種和模式：

常規(guī)SEM： 常規(guī)SEM是常見的類型，用于觀察樣品的表面形貌和微觀結(jié)構(gòu)。它通常使用中能量電子束，并生成二次電子和反射電子圖像。

環(huán)境SEM（ESEM）： 環(huán)境SEM具有特殊的樣品室，允許在高濕度、高溫度和大氣壓力下觀察樣品。這使得可以研究生物樣品、水合物和其他不適合在常規(guī)SEM中觀察的物質(zhì)。

低溫SEM： 低溫SEM通常在冷凍條件下觀察樣品，以研究生物樣品、聚合物和其他材料在低溫下的性質(zhì)。

場發(fā)射掃描電鏡（FE-SEM）： FE-SEM使用場發(fā)射電子源，通常具有更高的分辨率和更好的表面拓撲學(xué)。它常用于納米尺度的樣品觀察。

透射電子顯微鏡（TEM）： TEM是一種不同于SEM的電子顯微鏡，它通過樣品來傳輸電子束，用于觀察樣品的內(nèi)部結(jié)構(gòu)，如細胞和晶體。

能譜SEM（SEM-EDS）： SEM-EDS結(jié)合了SEM和能譜分析，可以同時獲得樣品的表面形貌和元素成分信息。

反射電子顯微鏡（REM）： REM使用反射電子來研究樣品的表面形貌和晶體結(jié)構(gòu)，特別適用于金屬和晶體材料。

低真空SEM： 低真空SEM在樣品室中維持較低的真空級別，適用于不導(dǎo)電或難以在高真空條件下觀察的樣品。

時間分辨SEM： 這種SEM模式允許觀察樣品的動態(tài)過程，例如材料的生長、腐蝕和變形。

3D-SEM： 3D-SEM通過多次拍攝樣品的不同部分來構(gòu)建三維圖像，從而提供更全的樣品信息。

低電壓SEM： 低電壓SEM使用較低能量的電子束，適用于敏感樣品，可以減小輻射損傷。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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