掃描電子顯微鏡的信號收集系統負責捕獲和處理由樣品與電子束相互作用產生的信號。以下是信號收集系統的工作原理：

電子-樣品相互作用：當高速電子束與樣品表面相互作用時，會產生多種類型的信號，包括二次電子、反射電子、散射電子、X射線等。

探測器：掃描電鏡的信號收集系統通常包括不同類型的探測器，用于檢測和收集樣品產生的不同信號。常見的探測器有：

二次電子探測器：用于檢測和收集由樣品表面產生的二次電子。二次電子探測器通常位于樣品表面附近，并通過收集二次電子來生成圖像，可以提供高分辨率的表面形貌信息。

反射電子探測器：用于檢測和收集由樣品與電子束相互作用后反射的電子。反射電子探測器可以提供有關樣品的原子序數和成分信息，對比度較高，用于材料表征和分析。

X射線能譜儀：用于檢測和分析由樣品產生的X射線譜。EDS探測器可以提供有關樣品元素組成和分布的信息，用于元素分析和成分定量。

信號放大和處理：收集到的信號經過放大和處理，以增強信號強度和質量。這通常涉及到放大器、濾波器和數字化系統等。放大和處理的目的是提高信號的可視化和分析能力。

圖像生成和顯示：經過信號處理后，信號被轉換為圖像，并在掃描電鏡的顯示屏上顯示出來。圖像可以通過掃描電鏡的控制軟件進行調整和優化，以獲得所需的圖像質量和對比度。

信號收集系統的設計和配置會因SEM的型號和配置而有所不同，也會根據不同的應用需求進行定制。它的主要目標是捕獲和利用樣品與電子束相互作用產生的信號，以獲得高分辨率的圖像和詳細的樣品特征信息。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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