掃描電鏡如何選擇合適的探測器？
日期：2023-07-07
選擇合適的探測器應(yīng)根據(jù)實(shí)際應(yīng)用和需求進(jìn)行評估。以下是一些考慮因素：
樣品類型：考慮樣品的導(dǎo)電性、表面特征和組成。如果樣品是非導(dǎo)電的，BSE或SE可能更適合，而對于導(dǎo)電樣品，BSE、SE或STEM都可選擇。
分辨率和細(xì)節(jié)需求：如果需要高分辨率的表面形貌信息，SE或STEM可能是更好的選擇。如果需要了解樣品的組成和原子級結(jié)構(gòu)，則需要STEM和EDS。
信號強(qiáng)度和對比度：如果需要較高的信號強(qiáng)度和對比度，BSE可能是更好的選擇。
系統(tǒng)配置和預(yù)算：不同探測器的配置和成本不同。需根據(jù)實(shí)際情況和預(yù)算選擇合適的探測器。
建議在選擇探測器時參考SEM制造商的技術(shù)規(guī)格和應(yīng)用指南，以了解各種探測器的性能和適用范圍，并與應(yīng)用需求相匹配。
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作者：澤攸科技