掃描電鏡的真空系統和泄漏率要求是什么？
日期：2023-07-05
掃描電鏡的真空系統是確保在觀察過程中維持適當的真空環境的關鍵組成部分。真空系統主要由真空室、泵和密封組件組成。
對于SEM的真空系統，通常有以下要求和考慮因素：
高真空環境：SEM需要在高真空環境下進行觀察，以避免電子束與氣體分子之間的相互作用。常見的要求是達到10^-4至10^-6帕的高真空。
泄漏率：真空系統的泄漏率是指在給定時間內氣體從系統中逸出的速率。低泄漏率是實現穩定高真空環境的關鍵。通常，SEM的泄漏率要求在10^-7帕·升/秒以下。
泵系統：SEM使用的泵系統通常包括機械泵和分子泵。機械泵用于快速抽取大量氣體，分子泵則用于進一步將氣體抽取到較高真空。泵系統的選擇和性能直接影響到真空系統的達到和維持。
密封組件：真空系統的密封組件需要具有良好的密封性能，以防止氣體泄漏進入系統或系統內氣體泄漏到外部環境。常見的密封組件包括O型圈、密封墊等。
氣體處理：SEM真空系統中也需要考慮氣體處理的問題，如去除水蒸氣、有機物等雜質氣體，以保持干凈的觀察環境。
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作者：澤攸科技