在臺式掃描電鏡（SEM）中，探針電流是指掃描電鏡電子束與樣品表面相互作用產(chǎn)生的電流量。探針電流是SEM中一項重要的參數(shù)，可以提供關(guān)于樣品性質(zhì)和電子束與樣品交互作用的信息。

探針電流的大小可以受到以下因素的影響：

電子束電流：電子束電流是SEM中調(diào)節(jié)的一個重要參數(shù)。增加電子束電流會導(dǎo)致探針電流變大。

加速電壓：加速電壓是指電子束在SEM中的能量。較高的加速電壓通常會導(dǎo)致更大的探針電流。

樣品性質(zhì)：樣品的導(dǎo)電性和形貌會影響探針電流。導(dǎo)電性較高的樣品會產(chǎn)生較大的探針電流，而非導(dǎo)電性樣品的探針電流較小。樣品表面的形貌和紋理也會對探針電流產(chǎn)生影響。

探針與樣品之間的距離：探針電流還與電子束與樣品之間的距離有關(guān)。在SEM中，通過調(diào)整工作距離（Working Distance）來控制探針與樣品的距離。

通常情況下，較高的探針電流可以提供更高的信號強度和更好的圖像質(zhì)量，但同時也可能導(dǎo)致樣品的熱損傷或退火效應(yīng)。因此，在選擇探針電流時需要平衡信號質(zhì)量和樣品的熱影響。

具體的探針電流設(shè)置應(yīng)根據(jù)樣品的性質(zhì)、SEM儀器的要求和實際需求進行優(yōu)化。一般來說，您可以根據(jù)樣品的導(dǎo)電性和SEM儀器的建議范圍，逐漸增加探針電流，觀察圖像質(zhì)量和樣品狀況，并找到適合您實驗需求的探針電流值。

ZEM18臺式掃描電鏡

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