如何選擇合適的加速電壓和工作距離？
日期：2023-06-08
選擇合適的加速電壓和工作距離是掃描電鏡圖像質量和分辨率的關鍵因素。以下是一些考慮因素：
樣品類型：不同的樣品類型對加速電壓和工作距離有不同的要求。對于導電性較好的樣品，較高的加速電壓可以提供更好的穿透能力和圖像對比度。對于非導電樣品，較低的加速電壓可能更適合，以減少表面電荷積聚和樣品損傷。
分辨率需求：加速電壓和工作距離會直接影響掃描電鏡的分辨率。較高的加速電壓和較大的工作距離通常可以提供更高的分辨率。但同時要注意，加速電壓增加可能會導致光學像差的增加。
深度信息：加速電壓和工作距離還會影響掃描電鏡的深度信息。較低的加速電壓和較小的工作距離可以提供更好的表面拓撲和深度信息。
電子束穿透能力：較高的加速電壓可以提供更好的電子束穿透能力，適用于需要深入樣品內部進行觀察的情況。
圖像對比度和噪聲：加速電壓和工作距離會影響圖像的對比度和噪聲水平。
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作者：澤攸科技