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掃描電鏡如何產生高分辨率的圖像?

日期:2023-05-18

掃描電鏡(SEM)通過以下方式產生高分辨率的圖像:

高能電子束:掃描電鏡使用高能電子束來照射樣品表面。相比于可見光的波長,電子束的波長極短,使得掃描電鏡能夠獲得更高的分辨率。通常使用加速電壓為幾千伏至數十千伏的電子束。

準確的電子束聚焦:掃描電鏡使用電子透鏡系統來聚焦電子束。通過控制聚焦透鏡和物鏡透鏡,可以使電子束聚焦到非常小的尺寸,從而增加圖像的細節和分辨率。

樣品表面信號檢測:當高能電子束照射樣品表面時,與樣品相互作用的電子和光子等信號將被產生。掃描電鏡可以檢測和測量這些信號,例如二次電子發射、散射電子、透射電子和X射線等。這些信號提供有關樣品表面形貌、組成和結構的信息。

掃描電子束的掃描和檢測:掃描電子束在樣品表面進行掃描,通過逐點或逐線的方式掃描整個樣品區域。同時,檢測系統接收到信號并轉換成電信號,以產生圖像。通過掃描和檢測過程,掃描電鏡能夠獲取樣品表面的細節和形貌信息。

數字圖像處理和顯示:通過數字圖像處理和顯示技術,掃描電鏡獲得的信號可以被轉換成高分辨率的圖像。這包括去噪處理、增強對比度、調整亮度和色彩平衡等。數字圖像處理提供了更清晰、更準確的圖像顯示和分析。

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作者:澤攸科技


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