掃描電鏡是一種利用高能電子束與樣品相互作用，產(chǎn)生反射、透射、散射等信號(hào)，通過(guò)信號(hào)的捕捉與分析，獲取樣品表面形貌、成分和結(jié)構(gòu)等信息的儀器。它的結(jié)構(gòu)組成包括以下幾個(gè)主要部分：

電子槍：產(chǎn)生高能電子束的部分，通常由熱陰極或場(chǎng)發(fā)射陰極構(gòu)成，可以控制電子束的亮度和聚焦效果。

操作系統(tǒng)：包括控制臺(tái)、屏幕、鍵盤、鼠標(biāo)等，用于對(duì)SEM的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行設(shè)定、控制和調(diào)整。

樣品臺(tái)：用于固定待觀察的樣品，并提供旋轉(zhuǎn)、傾斜等操作，以便不同角度下的觀察。

掃描線圈：通過(guò)控制掃描線圈的電流，產(chǎn)生磁場(chǎng)，控制電子束的掃描路徑，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品表面的掃描。

探測(cè)器：用于捕捉樣品表面反射、透射、散射等信號(hào)，并將信號(hào)轉(zhuǎn)化為電信號(hào)傳輸給圖像處理系統(tǒng)。

圖像處理系統(tǒng)：將信號(hào)轉(zhuǎn)化為數(shù)字信號(hào)，進(jìn)行放大、增強(qiáng)、濾波等處理，產(chǎn)生高質(zhì)量的SEM圖像。

顯示器和存儲(chǔ)器：用于顯示處理后的圖像和存儲(chǔ)SEM圖像數(shù)據(jù)。

ZEM15臺(tái)式掃描電鏡能譜一體機(jī)

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