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SEM原位解決方案每一部工程作品都精雕細(xì)琢

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PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測(cè)量系統(tǒng)

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    PicoFemto掃描電鏡原位液體-電化學(xué)測(cè)量系統(tǒng)采用全新的O圈輔助密封設(shè)計(jì),攻克了以往原位液體解決方案裝樣困難的問題。實(shí)驗(yàn)中,樣品被密封在很薄氮化硅薄膜覆蓋的液體池內(nèi),池內(nèi)可以承載一個(gè)大氣壓。芯片電極聯(lián)通外接電路,從而在掃描電鏡中搭建一個(gè)液體-電化學(xué)測(cè)試環(huán)境。     

    性能指標(biāo):

     兼容指定型號(hào)SEM;

    ● 保證SEM真空度;

    ● 液體池間隔層厚度100 nm;

    ● 液體池內(nèi)可載入氣體或液體,池內(nèi)可承載1個(gè)大氣壓,池外滿足電鏡真空要求;

    ● 電壓輸出±200 V,分辨率±100 nV;

    ● 電流測(cè)量±1.5 A,分辨率±100 fA;

    ● 恒壓或者恒流模式;

    ● 自動(dòng)電流-電壓(I-V)測(cè)量、電流-時(shí)間(I-t)測(cè)量,自動(dòng)保存。

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