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掃描電鏡工作距離變化影響成像嗎

日期:2026-01-08

絕對會影響。掃描電鏡(SEM)的工作距離(WD,即樣品表面到電子槍下透鏡末端的距離)對成像質量有很大影響,原因主要體現在以下幾個方面:

景深變化

工作距離越長,景深越大;工作距離越短,景深越小。高放大觀察時,如果工作距離太短,景深不足,樣品表面微小高低差就會導致局部失焦。

分辨率變化

工作距離短時,電子束束斑(spot size)可以更小,理論分辨率更高;工作距離長時,束斑略大,分辨率會下降。

信號收集效率

電子探測器(SE、BSE)與樣品的相對位置固定。工作距離變化會改變信號入射角和收集幾何,影響二次電子或背散射電子的檢測效率,表現為亮度或對比度變化。

像差和像面變化

透鏡系統設計通常有最佳工作距離(Optimum WD),偏離會引入球差或像面彎曲,導致圖像模糊或畸變。

深高低差樣品表現

對于表面起伏大的樣品,長工作距離有利于整個區域同時在焦平面內,但可能犧牲分辨率;短工作距離適合局部高分辨率成像,但景深有限。


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作者:澤攸科技


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