在掃描電鏡中，電子束能量直接影響成像分辨率、樣品穿透深度和損傷風險。選擇合適的電子束能量可以兼顧成像質(zhì)量與樣品保護。

掃描電鏡選擇合適電子束能量的方法

考慮樣品厚度與組成

對于厚樣或高原子序數(shù)材料，需要較高能量（如15–30 kV）以保證穿透力。

對薄樣或低原子序數(shù)材料，低能量（如1–5 kV）即可，減少損傷。

平衡分辨率與損傷

高加速電壓可獲得高分辨率和較深景深，但容易熱損傷或電荷積累。

低電壓降低損傷和邊緣效應，但分辨率可能下降。

考慮表面與深層信息需求

只觀察表面形貌時，低電壓有利于提高表面敏感性。

若需要觀察內(nèi)部結(jié)構(gòu)或背散射信號，高電壓更適合。

樣品導電性

對絕緣樣品，過高能量易產(chǎn)生電荷堆積，可先使用低電壓或低束流。

可結(jié)合噴金/噴碳處理，或使用低真空模式輔助成像。

經(jīng)驗調(diào)節(jié)

可先從中等電壓開始，觀察圖像信噪比和表面狀態(tài)，再微調(diào)至適合值。