判斷掃描電鏡樣品是否發(fā)生充電，可以從圖像特征、操作反應(yīng)和信號(hào)變化幾個(gè)方面觀察。充電是非導(dǎo)電樣品常見的問題之一，表現(xiàn)通常很明顯，下面給出簡(jiǎn)單易判斷的方法，內(nèi)容帶標(biāo)點(diǎn)、不用符號(hào)、易理解。

第一，看圖像是否出現(xiàn)異常亮斑或局部過亮。若表面某些區(qū)域突然變得特別亮，且亮度不隨參數(shù)調(diào)節(jié)而正常變化，這通常是電子積聚造成的充電跡象。

第二，看圖像是否產(chǎn)生漂移。當(dāng)樣品充電后，電子束受到靜電場(chǎng)干擾，會(huì)導(dǎo)致視野不斷移動(dòng)或緩慢飄走。若圖像難以穩(wěn)定停在同一區(qū)域，通常說明充電正在發(fā)生。

第三，看圖像是否出現(xiàn)局部黑斑或反差異常。部分區(qū)域可能突然變暗或完全看不見細(xì)節(jié)，這是因?yàn)殡娮邮黄D(zhuǎn)或信號(hào)被屏蔽導(dǎo)致。

第四，觀察是否出現(xiàn)邊緣模糊或細(xì)節(jié)突然消失。充電會(huì)使電子束不能準(zhǔn)確落點(diǎn)，從而導(dǎo)致邊緣變虛或精細(xì)結(jié)構(gòu)無法成像。

第五，注意掃描時(shí)是否出現(xiàn)閃爍。圖像明暗不停跳動(dòng)、閃爍或抖動(dòng)，往往也是充電引起的電子束不穩(wěn)定。

第六，調(diào)低加速電壓看情況是否改善。如果降低電壓后圖像突然穩(wěn)定下來，基本可以確定之前是充電影響。

第七，檢查工作距離變化的影響。如果在不同工作距離下圖像失真程度有明顯變化，也多與充電有關(guān)。