在掃描電鏡（SEM）觀察過程中，如果樣品在成像時發生微小移動或振動，就會出現圖像重影、拖影或模糊的現象。這種問題常常與樣品固定、機械穩定性、真空環境或充電效應等因素有關。下面詳細說明其成因與解決方法。

一、圖像重影的主要原因

樣品固定不牢

樣品未緊密貼合樣品臺，或導電膠未完全固化，會導致樣品在掃描過程中輕微移動，尤其在高放大倍數下更明顯。

機械振動或外界干擾

若顯微鏡支架、真空泵或周圍設備（如空調、機械泵）產生振動，會引起電子束與樣品相對位置變化，造成圖像重影。

充電效應導致樣品漂移

非導電樣品在電子束照射下積累電荷，產生局部電場，使電子束偏轉，表現為圖像漂移或拖影。

熱膨脹或溫度變化

長時間照射可能使樣品或樣品臺輕微升溫，材料熱膨脹后引起位移，從而產生輕微重影。

電子束掃描速度過慢

在慢掃描模式下，如果樣品略有移動或振動，圖像容易在同一幀內產生重復輪廓。

電磁干擾或電源不穩定

外部電磁場或設備接地不良也可能造成電子束偏移，導致圖像抖動或重影。

二、解決與預防方法

確保樣品固定牢靠

使用高質量導電膠、導電銅帶或真空兼容膠將樣品牢固固定，必要時在樣品臺上輕壓使其貼合。

改善導電路徑

對非導電樣品進行噴鍍金或鍍碳處理，或在樣品邊緣加導電膠帶連接樣品臺，減少電荷積聚。

避免環境振動

將電鏡放置在防震臺上。

避免在觀察時附近設備運轉。

關閉空調或壓縮機等震源。

優化掃描參數

提高掃描速度或使用“快速預覽 + 慢速平均”成像方式。

調整行掃描時間與積分次數，避免長時間掃描引起漂移。

控制溫度與真空穩定性

確保真空系統穩定、腔體溫度變化小，避免樣品熱漂移。

檢查電磁干擾

確認顯微鏡接地良好，避免共用電源線或靠近高功率電機設備。