掃描電鏡（SEM）樣品表面的污染，會直接影響成像質量、分辨率以及分析結果的準確性。這類污染可能來源于樣品制備、環境暴露、真空系統殘留物或電子束照射過程。以下是污染對掃描電鏡性能的主要影響及相關分析。

一、污染的主要來源

制樣過程中殘留物：如油脂、手指印、清洗劑殘渣或有機溶劑未完全揮發。

真空系統污染：真空腔內的油蒸氣、真空脂蒸發物或殘余氣體在樣品表面沉積。

電子束誘導污染：電子束照射會分解樣品表面的有機物，使碳元素沉積形成“碳污染層”。

環境灰塵與濕氣：樣品暴露在空氣中過久，易吸附塵埃、水汽或碳氫化合物。

二、表面污染對成像的影響

分辨率下降

污染層會掩蓋樣品的真實微觀結構，使電子束與樣品的相互作用區域擴大，導致圖像模糊、細節丟失。

對比度減弱

污染層通常為低原子序物質（如碳），與基底材料的反差減小，造成圖像灰度對比度降低。

信號失真

表面污染改變電子散射特性，使得二次電子和背散射電子的分布異常，導致邊緣發亮或信號漂移。

電子充電與漂移

有機污染層電導率極低，易造成電荷積聚，出現圖像漂移、閃爍、條紋等現象。

能譜分析誤差

表面附著的碳、氧、硅等污染元素，會掩蓋真實成分信號，使 EDS（能譜分析）檢測結果偏離實際。

三、減少和消除污染的措施

嚴格清潔樣品：使用無水乙醇、丙酮或等離子清洗去除表面殘留。

避免手觸樣品：操作時佩戴潔凈手套，防止指紋油污。

降低束流密度與照射時間：減少電子束誘導分解。

使用冷阱或低溫臺：在觀察過程中吸附殘余氣體，抑制污染沉積。

保持真空系統清潔：定期更換真空油、清潔腔體和樣品臺。