在掃描電鏡（SEM）中，噪聲主要來源于探測器信號的統(tǒng)計波動（電子數有限）和電子學噪聲。提高電子束電流是降低噪聲的一種常用方法，但要注意操作方法和潛在副作用。下面詳細說明：

一、原理

SEM 圖像的亮度由探測到的二次電子或背散射電子數量決定。

噪聲呈統(tǒng)計特性，服從泊松分布，即電子數越少，信號波動越大。

提高電子束電流意味著單位時間內撞擊樣品的電子數增加，信號增大，相對噪聲（噪聲與信號比）降低，圖像更平滑。

二、提高電子束電流的方法

調節(jié)束流

在 SEM 控制面板中增加光闌開口或加大發(fā)射電流。

保證加大束流后不會超過樣品耐受范圍。

延長積分時間或掃描速度。

單點或單像素的采集時間增加，累計電子數增多。

等效于增加信號，降低噪聲。

使用低加速電壓時的高束流模式。

對非敏感樣品可增加束流，但要注意低電壓下束斑擴散可能導致分辨率下降。