在掃描電鏡（SEM）觀察中，如果樣品導(dǎo)電性不足，會(huì)造成電荷積累（charging effect），從而導(dǎo)致圖像模糊、漂移或亮度不均。常見的解決方法有：

導(dǎo)電鍍膜

使用 金（Au）、鉑（Pt）、碳（C）等導(dǎo)電材料進(jìn)行噴鍍或蒸鍍。

薄膜厚度一般控制在 5–20 nm，既能保證導(dǎo)電性，又盡量不掩蓋細(xì)節(jié)。

碳鍍膜更適合做 元素分析（EDS/EDX），因?yàn)樗粫?huì)引入金屬元素信號(hào)。

降低加速電壓

適當(dāng)降低 加速電壓（1–5 kV），減少電子在樣品內(nèi)部的穿透深度，降低電荷積累。

同時(shí)可以增強(qiáng)表面敏感性，但要平衡分辨率的需求。

使用低真空或環(huán)境 SEM（LV-SEM, ESEM）

在低真空模式下，腔室內(nèi)有少量氣體分子（如水蒸氣），它們會(huì)中和樣品表面電荷。

特別適合生物、陶瓷、高分子等非導(dǎo)電材料。

噴涂導(dǎo)電劑

在樣品表面涂覆 導(dǎo)電銀漆、碳膠等，幫助電荷釋放到樣品臺(tái)。

常用于樣品邊緣或背面連接到樣品臺(tái)，保證接地良好。

優(yōu)化樣品安裝

確保樣品與樣品臺(tái)接觸良好，避免懸空或接觸不牢。

必要時(shí)在樣品邊緣點(diǎn)涂導(dǎo)電膠，增加導(dǎo)電通路。

圖像采集策略

使用慢掃描+幀累積，提高信噪比。

減小電子束電流，降低電荷積累速度。