掃描電鏡（SEM）成像模糊很大可能是焦距沒有調好。成像模糊的成因通常可以分為對焦問題、樣品問題、參數設置問題和機械或電子系統問題。下面是詳細分析：

一、常見原因：焦距沒有調好（未聚焦）

表現：

圖像整體發虛，邊緣輪廓不清；

放大倍率越高越模糊；

對焦時圖像波動劇烈。

解決方法：

在低倍時先調節“Z軸”或工作距離（WD），讓樣品表面接近焦平面；

再用“Focus（聚焦）”旋鈕精細調節焦點；

逐步放大倍率，邊放大邊繼續微調焦距；

如有“Auto Focus”功能可嘗試自動對焦后微調。

二、樣品未置于焦點面上（Z軸高度不當）

SEM 中成像清晰通常要求樣品表面位于設定的工作距離（如 10 mm）；

如果樣品太高或太低，焦距會偏離，導致圖像模糊。

建議：

調整樣品高度或平臺 Z 軸，確保目標區域位于焦點范圍內；

高倍率時尤其要嚴格控制焦平面。

三、樣品移動、漂移或帶電

漂移或抖動會使圖像產生運動模糊；

帶電會導致圖像晃動、跳動或模糊；

常發生在非導電樣品未噴金處理時。

應對方法：

檢查樣品固定是否牢固；

提高導電性（噴金、噴碳、導電膠）；

使用低電壓成像或低真空模式減輕充電效應。

四、電子束參數設置不當

束斑過大或光斑未收斂，會讓圖像發虛；

探測器增益過高或對比度過低也會讓圖像顯得模糊不清。

建議：

減小束斑尺寸；

調整聚光器強度（Condenser lens）；

設置合適的亮度、對比度、掃描速度。

五、放大倍率太高、分辨率超限

有些樣品本身細節不足，或 SEM 本身分辨率有限；

在超出成像極限時強行放大，會出現“虛假模糊”。

解決：

降低倍率觀察；

更換高分辨率模式或高分辨率樣品（如噴金后再觀察）；