在掃描電子顯微鏡（SEM）中進行圖像的定量測量，關(guān)鍵在于圖像已正確標定、設(shè)備設(shè)置精確，以及測量方法規(guī)范。下面是完整的步驟和注意事項：

一、前提條件：圖像須已校準倍率和比例尺

定量測量前，確保：

SEM 已校準倍率（Magnification Calibration）；

圖像上 比例尺（Scale Bar）是準確的；

不同加速電壓、工作距離、放大倍率下的畸變已最小化。

二、基本測量項目

SEM 圖像中常見的定量測量包括：

線性尺寸：如粒徑、厚度、孔徑、縫隙等；

面積與輪廓：顆粒覆蓋率、孔洞面積；

角度：晶體邊界夾角、微結(jié)構(gòu)方向；

形貌統(tǒng)計：粒徑分布、密度等。

三、常見測量方法

1. 使用 SEM 自帶的軟件

多數(shù)掃描電鏡軟件（如 ZEISS SmartSEM、Hitachi SEM Viewer、TESCAN Essence 等）提供內(nèi)建測量工具：

直接在圖像上點擊兩點，系統(tǒng)自動按比例尺計算距離；

可設(shè)置多種單位（如 nm、μm）；

支持導出測量結(jié)果和圖像截圖。

注意：確保使用的是已保存 原始像素大小和元數(shù)據(jù) 的圖像。

2. 使用圖像分析軟件

導出圖像后可在外部圖像處理軟件中進行分析：

常用軟件：

ImageJ / FIJI：免費、開源，功能強大；

Photoshop / GIMP：適合簡單標注，但不適合高精度測量；

Igor Pro / Origin：適合科研用戶，處理統(tǒng)計和圖形表達。

ImageJ 中的測量流程：

打開圖像；

使用已知比例尺標定（Analyze > Set Scale）；

選擇測量工具（直線、面積、角度）；

測量并記錄值（Analyze > Measure）；

可批量統(tǒng)計多個顆粒、導出結(jié)果。

四、避免誤差的關(guān)鍵點

樣品須處于聚焦狀態(tài)，否則圖像拉伸失真；

使用 適當?shù)墓ぷ骶嚯x（WD）和加速電壓，避免邊緣效應；

圖像須未縮放（即以原始分辨率保存）；

盡量避免在邊緣區(qū)域測量（因畸變概率更大）；

對非平面樣品，需考慮傾斜角和景深影響；

進行定量前建議使用已知尺寸標準樣品進行一次驗證。