掃描電鏡（SEM）圖像的尺寸標(biāo)定是為了確保圖像上的距離測(cè)量與實(shí)際物理尺寸相對(duì)應(yīng)。具體做法如下：

1. 使用標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行標(biāo)定

選用已知尺寸的標(biāo)準(zhǔn)樣品（例如具有規(guī)則尺寸的金屬網(wǎng)、硅球、納米線等），是可靠的方式。

操作步驟：

在掃描電鏡中觀察標(biāo)準(zhǔn)樣品；

選擇合適的放大倍率，獲得清晰圖像；

使用電鏡軟件的測(cè)量工具，測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)樣品中已知長(zhǎng)度在圖像中的像素長(zhǎng)度；

計(jì)算每個(gè)像素所代表的真實(shí)物理長(zhǎng)度（單位如 nm/pixel）；

記錄該放大倍率下的像素比例，以用于后續(xù)圖像分析。

2. 利用電鏡自帶標(biāo)尺或標(biāo)定功能

多數(shù)現(xiàn)代掃描電鏡系統(tǒng)配有自動(dòng)標(biāo)定功能和比例尺生成工具。這些功能一般由制造商預(yù)先根據(jù)系統(tǒng)硬件參數(shù)設(shè)置，需注意：

在未更改放大倍率、電壓、工作距離前提下，系統(tǒng)自動(dòng)生成的比例尺通常是準(zhǔn)確的；

若調(diào)整參數(shù)或進(jìn)行設(shè)備維護(hù)后，應(yīng)重新校準(zhǔn)；

使用比例尺前，建議用標(biāo)準(zhǔn)樣品驗(yàn)證其準(zhǔn)確性。

3. 手動(dòng)添加比例尺

如果圖像沒(méi)有自動(dòng)生成比例尺，也可以根據(jù)已知標(biāo)定數(shù)據(jù)手動(dòng)添加：

根據(jù)之前標(biāo)定獲得的比例（如 5 nm/pixel）；

在圖像中手動(dòng)繪制一條線（例如 200 pixels）；

注明其對(duì)應(yīng)長(zhǎng)度（如 “1 μm”）作為比例參考。

4. 避免影響標(biāo)定準(zhǔn)確性的因素

保持焦距準(zhǔn)確，避免圖像模糊；

盡量使樣品表面垂直于電子束，防止因傾斜引起尺度失真；

避免使用高噪聲、拖影、畸變嚴(yán)重的圖像作為標(biāo)定依據(jù)；

不同放大倍率需要分別進(jìn)行標(biāo)定。