在使用臺掃電鏡（SEM）分析樣品時，工作距離（working distance, WD）對觀察結果有顯著影響。工作距離是指從電子槍到樣品表面的距離。以下是工作距離對SEM觀察結果的主要影響：

1. 圖像分辨率

短工作距離：通常提供更高的分辨率。電子束在較短的路徑上保持更集中的束斑（spot size），減少了散射和能量損失，使得圖像更加清晰和細致。

長工作距離：分辨率較低。電子束在到達樣品表面之前會有更多的擴散和散射，導致束斑變大，圖像分辨率下降。

2. 景深（Depth of Field）

短工作距離：景深較淺。這意味著樣品表面的高低起伏會導致圖像的某些部分模糊，特別是在高放大倍數下。

長工作距離：景深較大。可以同時對樣品的不同高度部分進行清晰成像，適用于觀察具有明顯高度差異的樣品。

3. 圖像對比度

短工作距離：對比度較高。由于束斑較小，電子束的集中度高，信號強度較強，從而增強圖像的對比度。

長工作距離：對比度較低。電子束擴散導致信號減弱，對比度降低。

4. 視場大小（Field of View）

短工作距離：視場較小。由于電子束更加集中，掃描的區域也相對較小。

長工作距離：視場較大。電子束擴散使得掃描覆蓋的區域較大，適用于觀察大面積的樣品表面。

5. 信噪比（Signal-to-Noise Ratio）

短工作距離：信噪比較高。電子束路徑較短，受干擾較少，信號強度相對較高。

長工作距離：信噪比較低。電子束在長距離上傳播時受到更多的干擾，信號強度減弱，噪聲相對增加。

6. 樣品損傷

短工作距離：可能導致樣品表面更容易受電子束損傷，特別是對于非導電或敏感樣品。

長工作距離：樣品表面受電子束損傷的風險較小，因為電子束強度分布較均勻。

7. 操作和調節

短工作距離：需要更準確的對焦和定位，操作難度較高，特別是在高放大倍數下。

長工作距離：對焦和定位相對容易，適合初學者或進行快速掃描。

實際操作建議

高分辨率成像：選擇短工作距離，特別是需要觀察樣品的細微結構時。

大視場觀察：選擇長工作距離，適用于初步掃描和大面積樣品的快速觀察。

景深需求：對于高度不均勻的樣品，選擇長工作距離以確保不同高度部分的清晰成像。

樣品保護：對于容易受損的樣品，可以適當增加工作距離，減少電子束強度集中帶來的損傷。

以上就是澤攸科技小編分享的臺掃電鏡分析樣品時工作距離對觀察結果的影響。更多掃描電鏡產品及價格請咨詢