臺式掃描電鏡的對焦一般分為粗調和細調兩個階段。以下是對這兩個階段的具體介紹：

粗調對焦

粗調對焦主要是將樣品表面調至顯微鏡的初級對焦位置，以便進行后續(xù)的細調對焦。一般來說，進行粗調對焦時需要先將電子槍調至合適的位置，使其可以照射到樣品表面；然后調整樣品臺位置，將樣品表面與電子束聚焦面基本平行，這時樣品表面就可以看到清晰的影像，接下來可以通過微調樣品臺高度和位置，使影像進一步清晰和穩(wěn)定。

細調對焦

細調對焦主要是在初級對焦的基礎上進行的，目的是使影像更加清晰、銳利，甚至可以達到納米級的分辨率。具體的操作方法有很多種，常見的包括：

調整聚焦補償：在粗調對焦的基礎上，通過調整聚焦補償，使影像更加清晰、銳利。

調整倍率：在粗調對焦的基礎上，通過調整電子透鏡的倍率，使影像更加清晰、銳利。

調整工作距離：在粗調對焦的基礎上，通過調整樣品和探針之間的工作距離，使影像更加清晰、銳利。

調整對比度和亮度：在粗調對焦的基礎上，通過調整對比度和亮度，使影像更加清晰、銳利。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

總之，細調對焦是一個非常復雜、技術含量較高的過程，需要根據具體的實驗條件和要求進行細致的調整和優(yōu)化。

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