使用臺(tái)式掃描電鏡分析一般不會(huì)直接破壞樣品，但是在分析過程中可能會(huì)對(duì)樣品造成一定程度的損傷。

首先，為了保證樣品的穩(wěn)定性和電導(dǎo)率，在進(jìn)行掃描電鏡觀察前往往需要對(duì)樣品進(jìn)行處理，如鍍金、鍍碳、濺射鉑等，這些處理過程可能會(huì)對(duì)樣品表面造成一定的影響。

其次，在掃描電鏡的觀察過程中，需要在樣品表面掃描高能電子束，這些電子束可能會(huì)與樣品表面發(fā)生相互作用，導(dǎo)致電荷積累、電子發(fā)射和樣品表面化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象，這些現(xiàn)象可能會(huì)對(duì)樣品表面產(chǎn)生一定的影響。

ZEM15臺(tái)式掃描電子顯微鏡

此外，如果在掃描電鏡觀察時(shí)，電子束能量過高或者掃描時(shí)間過長(zhǎng)，也可能會(huì)對(duì)樣品造成熱損傷或氧化等影響。

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