掃描電鏡（SEM）樣品的大小要求因所需觀察的特定特征而異，但通常樣品大小應大于或等于數毫米，并且足夠薄以透過電子束。將樣品固定在一個具有導電性的基底上，例如金屬或碳涂層的載玻片。

SEM觀察需要樣品表面光滑，因此在樣品制備過程中，應避免樣品的物理和化學處理對樣品表面造成損傷。對于高分辨率的SEM觀察，樣品的表面幾乎應該是完全平坦的，并且不應該有任何粗糙的紋理或凸起物。在制備SEM樣品時，還應避免樣品表面的氧化或污染，因為這些都會干擾電子束的傳播并損害成像質量。

ZEM15臺式掃描電鏡能譜一體機

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