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化學氣相沉積系統每一個設計作品都精妙

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等離子體增強化學氣相沉積系統CVD/PECVD應用案例

日期：2022-11-07

CVD應用——Graphene在任意襯底上的無催化生長

CVD應用——外延Graphene/BN異質結與摩爾超晶格

CVD應用——Graphene的各向異性刻蝕技術發展

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CVD 化學氣相沉積系統 PECVD 等離子體增強化學氣相沉積系統應用

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